Structural properties of Al/Mo/SiC multilayers with high reflectivity for extreme ultraviolet light.
Hu
Min-Hui
MH
Laboratoire Chimie Physique-Matière Rayonnement, UPMC Université Paris 06, CNRS UMR 7614, Paris, France.
Le Guen
Karine
K
André
Jean-Michel
JM
Jonnard
Philippe
P
Meltchakov
Evgueni
E
Delmotte
Franck
F
Galtayries
Anouk
A