title: Sacrificial adhesive bonding: a powerful method for fabrication of glass microchips.
abstract: A new protocol for fabrication of glass microchips is addressed in this research paper. Initially, the method involves the use of an uncured SU-8 intermediate to seal two glass slides irreversibly as in conventional adhesive bonding-based approaches. Subsequently, an additional step removes the adhesive layer from the channels. This step relies on a selective development to remove the SU-8 only inside the microchannel, generating glass-like surface properties as demonstrated by specific tests. Named sacrificial adhesive layer (SAB), the protocol meets the requirements of an ideal microfabrication technique such as throughput, relatively low cost, feasibility for ultra large-scale integration (ULSI), and high adhesion strength, supporting pressures on the order of 5 MPa. Furthermore, SAB eliminates the use of high temperature, pressure, or potential, enabling the deposition of thin films for electrical or electrochemical experiments. Finally, the SAB protocol is an improvement on SU-8-based bondings described in the literature. Aspects such as substrate/resist adherence, formation of bubbles, and thermal stress were effectively solved by using simple and inexpensive alternatives.
authors: Laboratório de Microfabricação, Laboratório Nacional de Nanotecnologia, Centro Nacional de Pesquisa em Energia e Materiais, Campinas, São Paulo 13083-970, Brazil.|Instituto de Química, Universidade Estadual de Campinas, Campinas, São Paulo 13083-970, Brazil.
authors: Renato S
authors: RS
authors: Lima
authors: Instituto de Química de São Carlos, Universidade de São Paulo, São Carlos, São Paulo 13566-590, Brazil.|Instituto Nacional de Ciência e Tecnologia em Bioanalítica, Campinas, São Paulo 13083-970, Brazil.
authors: Paulo A G C
authors: PA
authors: Leão
authors: Laboratório de Microfabricação, Laboratório Nacional de Nanotecnologia, Centro Nacional de Pesquisa em Energia e Materiais, Campinas, São Paulo 13083-970, Brazil.
authors: Maria H O
authors: MH
authors: Piazzetta
authors: Instituto de Química de São Carlos, Universidade de São Paulo, São Carlos, São Paulo 13566-590, Brazil.|Instituto Nacional de Ciência e Tecnologia em Bioanalítica, Campinas, São Paulo 13083-970, Brazil.
authors: Alessandra M
authors: AM
authors: Monteiro
authors: Laboratório de Microfabricação, Laboratório Nacional de Nanotecnologia, Centro Nacional de Pesquisa em Energia e Materiais, Campinas, São Paulo 13083-970, Brazil.|Instituto de Química, Universidade Estadual de Campinas, Campinas, São Paulo 13083-970, Brazil.
authors: Leandro Y
authors: LY
authors: Shiroma
authors: Laboratório de Microfabricação, Laboratório Nacional de Nanotecnologia, Centro Nacional de Pesquisa em Energia e Materiais, Campinas, São Paulo 13083-970, Brazil.
authors: Angelo L
authors: AL
authors: Gobbi
authors: Instituto de Química de São Carlos, Universidade de São Paulo, São Carlos, São Paulo 13566-590, Brazil.|Instituto Nacional de Ciência e Tecnologia em Bioanalítica, Campinas, São Paulo 13083-970, Brazil.
authors: Emanuel
authors: E
authors: Carrilho